클린룸과 장비
클린룸의 바닥재나 작업대에 도전성(정전기를 빼내는 성질)을 가진 재료가 사용되는 주된 이유는 무엇인가?
- A바닥을 반짝이게 하여 밝게 하기 위해
- B대전에 의한 정전기 방전으로 소자가 파괴되거나, 입자가 정전기로 끌려와 부착되는 것을 막기 위해
- C전기를 흘려 바닥을 데우기 위해
정답과 해설 보기
정답: B. 대전에 의한 정전기 방전으로 소자가 파괴되거나, 입자가 정전기로 끌려와 부착되는 것을 막기 위해
클린룸에는 수지 용기와 의복이 많고 건조하여 정전기가 쌓이기 쉬운 환경입니다. 대전된 물체나 사람에게서 방전(ESD)이 일어나면 소자가 파괴될 수 있고, 대전된 웨이퍼에는 입자가 끌려옵니다. 도전성 바닥과 작업대, 접지한 리스트 스트랩, 도전성 신발을 조합하여 전하를 대지로 빼냅니다. 외관이나 바닥 난방을 위한 것이 아닙니다.
- A. 외관을 위한 것이 아닙니다.
- B. 맞습니다. 정전기가 쌓이지 않게 하기 위함입니다.
- C. 바닥 난방을 위한 것이 아닙니다.