클린룸과 장비
클린룸에서 공기 중에 이온을 공급하여 웨이퍼나 장비의 대전을 중화하는 장치는 무엇인가?
- AULPA 필터
- B이오나이저(제전 장치)
- C스크러버
정답과 해설 보기
정답: B. 이오나이저(제전 장치)
건조한 클린룸에서는 정전기가 발생하기 쉬우며, 대전된 웨이퍼나 마스크는 파티클을 끌어당기거나 정전기 방전으로 디바이스나 마스크의 패턴을 손상시킵니다. 이오나이저는 코로나 방전 등으로 양이온과 음이온을 만들어 공기 중에 공급하여 물체의 대전을 중화합니다. 접지할 수 없는 절연물의 제전에 특히 효과적입니다. ULPA 필터는 입자 제거, 스크러버는 배기 가스 세정에 사용합니다.