MEMS・センサ

MEMSの封止などで、シリコンとガラスを加熱しながら電圧をかけて接合する方法を何と呼ぶか。

  1. A陽極接合
  2. Bワイヤボンディング
  3. Cスパッタリング
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正解:A. 陽極接合

陽極接合では、ナトリウムなどを含むガラスとシリコンを重ねて数百℃に加熱し、ガラス側を負にして電圧をかけます。ガラス中のイオンが移動して界面に強い静電引力が生じ、化学結合によって強固に接合されます。圧力センサや封止などに使われます。

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