LSI用の単結晶シリコンの製造で最も広く使われている方法はどれか。

正解：A. チョクラルスキー法(CZ法)

CZ法では、石英るつぼで溶かしたシリコンに種結晶を浸し、回転させながらゆっくり引き上げて大きな単結晶インゴットをつくります。大口径化に向いており、LSI用ウエハの大部分がこの方法でつくられています。