실리콘 웨이퍼
CZ 실리콘을 450℃ 부근에서 열처리하면 산소 원자가 모여 도너로 작용하여 웨이퍼의 저항률이 변하는 경우가 있다. 이를 무엇이라 부르는가?
- A게터링 사이트
- B서멀 도너
- C딥 억셉터
정답과 해설 보기
정답: B. 서멀 도너
격자간 산소를 포함한 CZ 실리콘을 350~500 ℃에서 열처리하면 산소 원자가 몇 개 모인 집합체가 생겨 전자를 방출하는 도너로 작용합니다(서멀 도너). 450 ℃ 부근에서 가장 빠르게 생기며 최대 10¹⁶ cm⁻³ 정도에 이르므로, 특히 저농도 p형 웨이퍼에서는 저항률이 크게 변하거나 n형으로 반전되기도 합니다. 650 ℃ 정도 이상의 단시간 열처리로 없앨 수 있으며, 웨이퍼 출하 시에 처리됩니다.
- A. 게터링 사이트는 불순물을 붙잡는 장소를 말합니다.
- B. 옳습니다. 산소 집합체가 도너로 작용하는 현상입니다.
- C. 억셉터가 아니라 도너로 작용합니다.