シリコンウエハ
CZ法で育成したシリコン結晶に含まれる格子間酸素の濃度の目安として最も近いものはどれか。
- A約10¹⁸ cm⁻³
- B約10²³ cm⁻³
- C約10¹⁰ cm⁻³
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正解：A. 約10¹⁸ cm⁻³
CZ結晶には、石英るつぼから溶け出した酸素がおよそ10¹⁷〜10¹⁸ cm⁻³(数〜十数ppma)含まれます。この酸素は熱処理で析出してゲッタリングに役立つ一方、多すぎると欠陥の原因にもなるため、濃度が管理されます。
- A. 正しい。10¹⁷〜10¹⁸ cm⁻³程度が目安です。
- B. 約10²³ cm⁻³はシリコンの原子密度(約5×10²² cm⁻³)より大きく、ありえません。
- C. 約10¹⁰ cm⁻³は真性キャリア密度程度の値で、酸素濃度としては小さすぎます。