실리콘 웨이퍼
CZ법으로 성장시킨 실리콘 결정에 포함된 격자간 산소 농도의 기준으로 가장 가까운 것은?
- A약 10¹⁸ cm⁻³
- B약 10²³ cm⁻³
- C약 10¹⁰ cm⁻³
정답과 해설 보기
정답: A. 약 10¹⁸ cm⁻³
CZ 결정에는 석영 도가니에서 녹아 나온 산소가 대략 10¹⁷~10¹⁸ cm⁻³(수~십수 ppma) 포함되어 있으며, 대부분 격자간 위치에 들어 있습니다. 이 산소는 열처리로 석출되어 게터링에 도움이 되고 전위를 고착시켜 웨이퍼를 강하게 하는 반면, 너무 많으면 결함과 서멀 도너의 원인이 됩니다. 농도는 적외선 흡수(파장 약 9 µm의 흡수)로 측정하며, 용도별로 좁은 범위로 관리됩니다.
- A. 옳습니다. 10¹⁷~10¹⁸ cm⁻³ 정도가 기준입니다.
- B. 약 10²³ cm⁻³은 실리콘의 원자 밀도(약 5×10²² cm⁻³)보다 커서 있을 수 없습니다.
- C. 약 10¹⁰ cm⁻³은 진성 캐리어 밀도 정도의 값으로, 산소 농도로는 너무 작습니다.