실리콘 웨이퍼

실리콘 잉곳을 한 번에 다수의 웨이퍼로 슬라이스하는 데 일반적으로 사용되는 장치는 무엇인가?

  1. A다이싱 블레이드
  2. B멀티 와이어 소
  3. CCMP 장치
정답과 해설 보기

정답: B. 멀티 와이어 소

멀티 와이어 소는 직경 0.1 mm 안팎의 가는 와이어를 수백 개 평행하게 걸어 고속으로 주행시키고, 연마 입자가 든 액이나 다이아몬드를 고정한 와이어로 잉곳을 한 번에 수백 장의 웨이퍼로 절단하는 장치입니다. 절단 손실(커프)이 0.1 mm대로 작아 재료 낭비를 줄일 수 있습니다. 잉곳 한 개를 자르는 데 몇 시간이 걸립니다. 다이싱 블레이드는 완성된 웨이퍼를 칩으로 분할하는 데 사용합니다.

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