シリコンウエハ

CZウエハの内部で、酸素が析出してできる微小な欠陥(BMD)を利用する目的として正しいものはどれか。

  1. A金属不純物を捕獲するゲッタリングサイトとして使う
  2. Bウエハを発光させる
  3. Cウエハの強度を下げる
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正解：A. 金属不純物を捕獲するゲッタリングサイトとして使う

CZウエハに含まれる酸素は、熱処理によってウエハ内部で析出物(BMD:Bulk Micro Defect)をつくります。この析出物とその周りのひずみが金属不純物を捕らえるため、表面のデバイス領域から金属汚染を遠ざけるイントリンシックゲッタリングに利用されます。

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