실리콘 웨이퍼 LSI용 단결정 실리콘 제조에 가장 널리 쓰이는 방법은 무엇인가? A초크랄스키법(CZ법) B졸-겔법 C전해 정련법 정답과 해설 보기 정답: A. 초크랄스키법(CZ법) CZ법에서는 석영 도가니에서 약 1420 ℃ 이상으로 녹인 실리콘에 종결정을 담그고, 회전시키면서 시간당 수 cm 정도의 속도로 천천히 끌어올려 직경 300 mm, 길이 2 m 안팎, 무게 수백 kg의 단결정 잉곳을 만듭니다. 대구경화와 양산에 적합하여 LSI용 웨이퍼의 대부분이 이 방법으로 만들어집니다. 1916년 폴란드의 초크랄스키가 금속 결정의 성장법으로 고안했습니다. CZ법(초크랄스키법)에 의한 단결정 인상 회전시키면서 끌어올림 종결정 단결정 실리콘 융액 석영 도가니 히터 CZ법(초크랄스키법)에 의한 단결정 인상 · 도해에서 보기