테스트와 검사

프로버에서 웨이퍼를 올리는 대(척)의 온도를 고온이나 저온으로 제어할 수 있게 하는 목적은?

  1. A웨이퍼를 건조시키기 위해
  2. B실제 사용 온도 범위에서 칩이 규격을 만족하는지를 웨이퍼 단계에서 확인하기 위해
  3. C칩을 접착하기 위해
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정답: B. 실제 사용 온도 범위에서 칩이 규격을 만족하는지를 웨이퍼 단계에서 확인하기 위해

칩의 특성은 온도에 따라 변하며, 고온에서 누설 전류가 늘거나 저온에서 타이밍이 바뀌기도 합니다. 척의 온도를 −40~150 ℃ 정도의 범위에서 제어하며 웨이퍼 테스트를 하면, 패키지하기 전에 온도에 의존하는 불량을 발견하여 조립 비용의 낭비를 줄일 수 있습니다. 저온에서는 결로를 방지하기 위해 건조한 공기로 웨이퍼 주위를 채웁니다.

  • A. 건조시키기 위한 것이 아닙니다.
  • B. 올바릅니다. 사용 온도 범위에서의 양부를 웨이퍼 단계에서 확인합니다.
  • C. 접착하기 위한 것이 아닙니다.
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