테스트와 검사
웨이퍼 테스트를 계속하면 프로브의 바늘 끝에 패드의 알루미늄 부스러기 등이 부착됩니다. 이때 정기적으로 하는 처리는?
- A연마 시트 등으로 바늘 끝을 클리닝한다
- B바늘에 기름을 바른다
- C바늘을 구부린다
정답과 해설 보기
정답: A. 연마 시트 등으로 바늘 끝을 클리닝한다
바늘 끝에 알루미늄 부스러기나 산화물이 부착되면 접촉 저항이 올라 올바르게 측정할 수 없게 되고, 양품을 불량으로 오판정하는 원인이 됩니다. 그래서 일정 수의 칩을 측정할 때마다 연마 시트 등으로 바늘 끝을 문질러 클리닝하여 접촉을 안정시킵니다. 너무 문지르면 바늘이 마모되어 짧아지므로 클리닝 빈도도 관리합니다. 기름이나 구부림은 접촉 불량을 악화시킵니다.
- A. 올바릅니다. 바늘 끝을 정기적으로 클리닝합니다.
- B. 기름을 바르면 접촉 불량이나 오염의 원인이 됩니다.
- C. 바늘을 구부리면 올바르게 접촉할 수 없게 됩니다.