テスト・検査
プローブカードの説明として正しいものはどれか。
- Aチップを封止するための金型
- Bウエハを搬送するための容器
- Cウエハ上のチップの電極に針を接触させ、テスタと電気的に接続する治具
答えと解説を見る
正解：C. ウエハ上のチップの電極に針を接触させ、テスタと電気的に接続する治具
プローブカードは、ウエハテストで使う治具で、チップの電極パッドの配置に合わせて多数の針(プローブ)が並んでいます。プローバという装置がウエハを動かして針と電極の位置を合わせ、テスタとチップを電気的につなぎます。