BTIの劣化について、ストレスを取り去るとしきい値電圧の変化が一部もとに戻ることによる評価上の注意点として正しいものはどれか。

正解：B. ストレスをやめてから測定するまでの時間で結果が変わるため、測定を素早く行ったり条件をそろえたりする必要がある

BTIでは、ストレスを止めると捕獲された電荷の一部が放出され、しきい値電圧の変化が少しずつ回復します。そのため、ストレスを止めてから測るまでの時間が長いと劣化を小さく見積もってしまいます。高速な測定法を使ったり、実際の回路の動作(オン・オフの繰り返し)を考慮したりして評価します。

• A. 回復があるため、測定時間は結果に影響します。
• B. 正しい。回復のため測定のタイミングに注意が必要です。
• C. 回復は一部で、劣化は残ります。