可靠度

關於BTI的劣化,移除應力後臨界電壓的變化會有一部分恢復,就此現象在評估上的注意事項,下列何者正確?

  1. A量測時間不影響結果
  2. B結果會隨停止應力到量測為止的時間而改變,因此必須快速量測或統一條件
  3. C因為會恢復,所以不必在意劣化
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正確答案:B. 結果會隨停止應力到量測為止的時間而改變,因此必須快速量測或統一條件

在BTI中,停止應力後被捕獲的電荷有一部分會釋放,臨界電壓的變化會在微秒~秒的單位內逐漸恢復。因此,如果從停止應力到量測的時間過長,就會低估劣化。要使用不停止應力的量測方法,或微秒等級的高速量測法,並同時考慮實際電路開關反覆所造成的恢復來進行評估。恢復只是一部分,劣化仍會殘留。

  • A. 因為有恢復,量測時間會影響結果。
  • B. 正確。因為有恢復,所以要注意量測的時機。
  • C. 恢復只是一部分,劣化仍會殘留。
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