プロセス材料(ガス・薬液)
半導体工場で超純水が最も大量に使われる用途はどれか。
- A作業者の飲み水
- B空調の加湿だけ
- Cウエハの洗浄やすすぎ
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正解：C. ウエハの洗浄やすすぎ
超純水は、薬液による洗浄の後のすすぎをはじめ、ウエハの洗浄工程で大量に使われます。わずかな不純物でもウエハを汚染するため、イオンや有機物、微粒子、溶存ガスなどを極限まで取り除いた水が必要です。
- A. 飲み水とは別に管理されます。
- B. 加湿だけに使われるわけではありません。
- C. 正しい。洗浄・すすぎで大量に使われます。