プロセス材料(ガス・薬液)

フォトレジストの一般的な保管方法として適切なものはどれか。

  1. A日の当たる明るい場所に置く
  2. B光を遮った容器に入れ、決められた温度(冷蔵など)で保管し、有効期限内に使う
  3. Cふたを開けたまま室温で保管する
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正解:B. 光を遮った容器に入れ、決められた温度(冷蔵など)で保管し、有効期限内に使う

フォトレジストは光や熱で性質が変わる感光性の材料なので、遮光した容器に入れ、冷蔵など指定された温度で保管します。時間がたつと感度などが変化するため、有効期限内に使うことも大切です。

  • A. 光が当たるとレジストが反応して変質します。
  • B. 正しい。遮光し、決められた温度で保管します。
  • C. ふたを開けると溶剤が蒸発し、異物も入ります。
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