プロセス材料(ガス・薬液)
フッ酸などの腐食性の強い薬液の配管や容器に広く使われる材料はどれか。
- APFAなどのフッ素樹脂
- Bアルミニウム
- C普通のガラス
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正解：A. PFAなどのフッ素樹脂
PFAやPTFEなどのフッ素樹脂は、フッ酸を含むほとんどの薬液に侵されず、溶け出す不純物も非常に少ないため、高純度薬液の配管、継手、容器、バルブなどに広く使われています。ガラスはフッ酸に溶け、アルミニウムは酸やアルカリに侵されます。
- A. 正しい。フッ素樹脂は薬液に強く、不純物も出にくい材料です。
- B. アルミニウムは酸やアルカリに侵されます。
- C. ガラスはフッ酸に溶けてしまいます。