在半導體廠中，超純水用量最大的用途為下列何者？

正確答案：C. 晶圓的清洗與沖洗

超純水大量用於每道製程都要進行的晶圓清洗，包括以化學品清洗之後的沖洗。大型工廠的用水量一天可達數萬噸，將用過的沖洗水回收並再製成超純水的設備也很重要。為了極限地去除離子、有機物、微粒與溶解氣體，要組合逆滲透膜、離子交換、紫外線氧化、超過濾等來製造。

• A. 與飲用水是分開管理的。
• B. 並非僅用於加濕。
• C. 正確。大量用於清洗與沖洗。