プロセス材料(ガス・薬液)
高純度ガスの配管に一般的に使われる材料と表面処理の組み合わせとして正しいものはどれか。
- A塩化ビニルの管
- B鉄の配管に塗装したもの
- Cステンレス鋼(SUS316Lなど)の内面を電解研磨したもの
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正解:C. ステンレス鋼(SUS316Lなど)の内面を電解研磨したもの
高純度ガスの配管には、耐食性の高いSUS316Lなどのステンレス鋼を使い、内面を電解研磨して非常に平滑にします。表面の凹凸を減らすことで、水分や不純物が吸着したり、パーティクルが出たりするのを抑えます。
- A. 塩化ビニルは高純度ガスの配管には向きません。
- B. 塗装した鉄はガスを汚染し、腐食もしやすくなります。
- C. 正しい。ステンレス鋼を電解研磨して使います。