半導体の製造に使うガスや薬液に、非常に高い純度が求められる主な理由はどれか。

正解：B. わずかな金属や粒子などの不純物でも、デバイスの特性や歩留まりを悪くするため

ガスや薬液に含まれるごく微量の金属は、シリコン中に入るとリーク電流の増加やライフタイムの低下を起こし、微粒子はパターンの欠陥になります。そのため、ppbやpptの単位で不純物を管理した高純度の材料が使われます。

• A. においを消すことが目的ではありません。
• B. 正しい。微量の不純物でも特性や歩留まりが悪くなります。
• C. 価格を上げることが目的ではありません。