공정 재료(가스와 케미칼)
반도체 공장에서 초순수가 가장 많이 쓰이는 용도는 무엇입니까?
- A작업자의 식수
- B공조의 가습만
- C웨이퍼의 세정과 헹굼
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정답: C. 웨이퍼의 세정과 헹굼
초순수는 약액 세정 뒤의 헹굼을 비롯해, 공정마다 이루어지는 웨이퍼 세정에 대량으로 쓰입니다. 대규모 공장에서는 사용량이 하루에 수만 톤에 이르기도 하며, 사용한 헹굼수를 회수하여 다시 초순수로 만드는 설비도 중요합니다. 이온, 유기물, 미립자, 용존 가스를 극한까지 제거하기 위해 역삼투막, 이온 교환, 자외선 산화, 한외여과 등을 조합하여 제조합니다.
- A. 식수와는 별도로 관리됩니다.
- B. 가습에만 쓰이는 것은 아닙니다.
- C. 맞습니다. 세정과 헹굼에 대량으로 쓰입니다.