プロセス材料(ガス・薬液)
Cu配線の電解めっきに使われるめっき液の主成分として正しいものはどれか。
- A硫酸銅を主成分とし、埋め込み方を制御する添加剤を加えた液
- B塩化ナトリウムの水溶液
- C純水だけ
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正解：A. 硫酸銅を主成分とし、埋め込み方を制御する添加剤を加えた液
Cuめっき液は、硫酸銅と硫酸を主成分とし、塩化物イオンと、促進剤・抑制剤・平滑剤などの有機添加剤を加えたものです。添加剤の働きで溝の底からCuが優先的に成長し(ボトムアップ成長)、ボイドのない埋め込みができます。