プロセス材料(ガス・薬液)

EUVマスクの反射多層膜に使われる材料の組み合わせとして正しいものはどれか。

  1. A金と銀
  2. B銅とアルミニウム
  3. Cモリブデンとシリコン
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正解：C. モリブデンとシリコン

EUVマスクやEUV露光装置のミラーには、モリブデン(Mo)とシリコン(Si)の薄い層を40対程度交互に積み重ねた多層膜が使われます。各層の厚さを波長に合わせることで、反射光が強め合い、13.5 nmの光を約70%程度反射できます。

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