シリコンのパワーMOSFETにおける耐圧とオン抵抗の関係として正しいものはどれか。

正解：C. 耐圧を高くするとオン抵抗は大きくなりやすい

耐圧を高くするには、電圧を受け持つドリフト層を厚く、不純物濃度を低くする必要があります。するとドリフト層の抵抗が増え、オン抵抗が大きくなります。このトレードオフを改善するために、スーパージャンクション構造やSiCなどのワイドギャップ材料が使われています。