전력 반도체

실리콘 파워 MOSFET에서 내압과 온 저항의 관계로 올바른 것은 무엇입니까?

  1. A내압과 온 저항은 무관하다
  2. B내압을 높이면 온 저항은 작아지기 쉽다
  3. C내압을 높이면 온 저항은 커지기 쉽다
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정답: C. 내압을 높이면 온 저항은 커지기 쉽다

내압을 높이려면 전압을 분담하는 드리프트층을 두껍게 하고 불순물 농도를 낮춰야 하므로 그 저항이 늘어납니다. 이론상 Si 유니폴라 소자의 온 저항은 내압의 약 2.5제곱에 비례하며, 내압을 2배로 하면 온 저항은 약 5.7배가 됩니다(실리콘 한계). 이 트레이드오프를 깨기 위해 슈퍼정션 구조나 절연 파괴 전계가 높은 SiC·GaN이 사용되고 있습니다.

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