パワー半導体

スーパージャンクション(SJ)MOSFETの特徴として正しいものはどれか。

  1. Aドリフト層にp型とn型の柱を交互に並べ、耐圧を保ちながらオン抵抗を下げる
  2. Bゲートを2つもつ
  3. Cゲート酸化膜を非常に厚くして耐圧を上げる
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正解：A. ドリフト層にp型とn型の柱を交互に並べ、耐圧を保ちながらオン抵抗を下げる

スーパージャンクション構造では、ドリフト層にp型とn型の柱を交互に配置します。オフ時には両方が空乏化して高い耐圧を保ち、オン時には高濃度のn型の柱を電流が流れるため、従来の耐圧とオン抵抗のトレードオフを超えた低いオン抵抗が得られます。

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