酸化・拡散

同じ温度で不純物を拡散させるとき、拡散時間を4倍にすると、不純物が広がるおよその距離は何倍になるか。

  1. A4倍
  2. B16倍
  3. C2倍
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正解：C. 2倍

拡散で不純物が広がる距離の目安は √(Dt) で、時間の平方根に比例します。時間を4倍にすると距離は √4 = 2倍になります。拡散を浅く抑えるには、時間より温度(Dの大きさ)の影響が大きいことにも注意が必要です。

  • A. 距離は時間に比例するのではなく、時間の平方根に比例します。
  • B. 16倍は時間の2乗に比例すると考えた誤りです。
  • C. 正しい。√4 = 2倍です。
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