실리콘의 열산화가 일반적으로 이루어지는 온도 범위로 가장 가까운 것은?

정답: B. 약 800~1,200℃

실리콘의 열산화는 일반적으로 800~1,200 ℃ 정도에서 이루어지며, 온도가 높을수록 빠르게 진행됩니다. 실리콘의 녹는점은 약 1,414 ℃이므로 그보다 충분히 낮은 온도입니다. 상온에서도 실리콘 표면에는 1 nm 정도의 자연 산화막이 바로 생기지만 그 이상은 거의 성장하지 않습니다. 선단 공정에서는 열 예산을 줄이기 위해 라디칼 산화 등으로 더 낮은 온도에서 산화하는 경우도 늘고 있습니다.

• A. 약 100~200℃에서는 실리콘의 산화가 거의 진행되지 않습니다.
• B. 올바릅니다. 800~1,200℃ 정도에서 수행합니다.
• C. 약 2,000℃ 이상은 실리콘의 녹는점을 넘어 버립니다.