산화와 확산

열산화 시 염화수소(HCl) 등 염소를 포함한 가스를 소량 첨가하는 주된 목적은?

  1. A산화막을 도전성으로 만들기 위해
  2. B산화 속도를 0으로 만들기 위해
  3. C나트륨 등의 가동 이온이나 금속 오염의 영향을 억제하기 위해
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정답: C. 나트륨 등의 가동 이온이나 금속 오염의 영향을 억제하기 위해

염화수소(HCl) 등을 수 % 첨가한 분위기에서 산화하면, 나트륨이나 철 등의 금속 오염이 휘발성 염화물로 제거되거나 산화막 내 염소에 붙잡혀 불활성화됩니다. 그 결과 가동 이온에 의한 문턱 전압 변동이 줄고, 산화막의 절연 파괴 내압 등 신뢰성도 향상됩니다. 산화 유기 적층 결함을 줄이는 효과도 있습니다. 부식성이 있기 때문에 최근에는 다른 염소 공급원도 사용됩니다.

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