이온 주입

nMOS 채널에 급준한 레트로그레이드 분포를 만들기 위해 붕소보다 무거운 p형 불순물로 검토·사용되어 온 원소는 무엇인가?

  1. A인듐
  2. B비소
  3. C인
정답과 해설 보기

정답: A. 인듐

인듐은 질량 115의 III족 억셉터로, 붕소(질량 11)보다 훨씬 무겁고 확산도 느리기 때문에 얕은 위치에서 멈추고 열처리 후에도 급준한 분포를 유지할 수 있습니다. 그래서 표면은 저농도이고 조금 깊은 위치에서 고농도가 되는 레트로그레이드 채널 분포나 할로에 사용되었습니다. 다만 억셉터 준위가 약 0.16 eV로 깊어 상온에서 일부만 이온화되고 고용도도 낮다는 단점이 있어 사용은 제한적입니다.

  • A. 올바릅니다. 무겁고 확산이 느린 p형 불순물입니다.
  • B. 비소는 n형 불순물입니다.
  • C. 인은 n형 불순물입니다.
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