離子佈植
為了在nMOS的通道形成陡峭的逆向摻雜分布，曾被考慮並使用的、比硼更重的p型雜質元素為下列何者？
- A銦
- B砷
- C磷
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正確答案：A. 銦
銦是質量115的III族受體，比硼（質量11）重得多且擴散也慢，因此停留在較淺的位置，即使熱處理後也能維持陡峭的分布。因此被用於表面為低濃度、稍深處為高濃度的逆向摻雜通道分布或暈環。然而其缺點是受體能階約0.16 eV較深，室溫下只有一部分游離，且固溶度也低，因此用法受到限制。
- A. 正確。是重且擴散慢的p型雜質。
- B. 砷是n型雜質。
- C. 磷是n型雜質。