イオン注入でできる結晶の損傷の分布として一般的に正しいものはどれか。

正解：C. イオンが止まる深さ(飛程)の付近から、それより少し浅い位置に多くできる

イオンは、高速のうちは主に電子との相互作用でエネルギーを失い、速度が落ちると原子核との衝突で原子をはじき飛ばすようになります。そのため結晶の損傷は、イオンが止まる飛程の付近とその少し手前に多くできます。

• A. 表面だけでなく、飛程付近までの深さに損傷ができます。
• B. 注入は表面側から行うので、裏面には届きません。
• C. 正しい。飛程の付近とその手前に多くできます。