MOSFET의 문턱 전압 조정이나 웰과 같은 중간 정도의 도즈량 주입에 주로 사용되는 이온 주입 장치는 무엇인가?

정답: B. 중전류 이온 주입 장치

이온 주입 장치는 도즈량과 에너지의 범위에 따라 중전류(문턱 조정이나 할로 주입 등, 10¹¹~10¹⁴ cm⁻²), 고전류(소스·드레인 등의 고도즈), 고에너지(깊은 웰 등)로 나뉩니다. 중전류 장치는 빔이 가늘고 안정적이어서 도즈 정밀도와 주입 각도의 정밀한 제어(0.1° 단위)에 뛰어나며, 각도 편차가 트랜지스터 특성에 직결되는 주입에 사용됩니다.

• A. CMP 장치는 연마로 평탄화하는 장치입니다.
• B. 올바릅니다. 중간 정도의 도즈 주입에 사용됩니다.
• C. 전자빔 묘화 장치는 패턴을 그리는 장치입니다.