이온 주입
이온 주입 장치에서 빔이 지나가는 경로를 고진공으로 하는 주된 이유는 무엇인가?
- A장치를 가볍게 하기 위해
- B웨이퍼를 식히기 위해
- C이온이 가스 분자와 충돌하여 산란하거나 중성화되는 것을 방지하기 위해
정답과 해설 보기
정답: C. 이온이 가스 분자와 충돌하여 산란하거나 중성화되는 것을 방지하기 위해
빔 경로에 가스가 남아 있으면 이온이 가스 분자와 충돌하여 방향이 바뀌거나, 전하를 잃고 중성이 됩니다. 중성이 된 입자는 패러데이 컵으로 셀 수 없고 주사나 감속의 전계로도 제어할 수 없으므로, 목표한 위치·에너지·도즈량으로 주입할 수 없게 됩니다. 그래서 빔라인은 10⁻⁴ Pa 정도 이하의 고진공으로 유지되며, 레지스트에서 나오는 가스의 배기도 중요합니다.
- A. 장치의 무게와는 관계가 없습니다.
- B. 진공으로 하는 것은 웨이퍼를 식히기 위해서가 아닙니다.
- C. 올바릅니다. 이온의 산란과 중성화를 방지하기 위해서입니다.