離子佈植
表示離子佈植劑量的單位，下列何者正確？
- AeV
- Bions/cm²（單位面積的離子數）
- CΩ/□
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正確答案：B. ions/cm²（單位面積的離子數）
劑量是晶圓單位面積所佈植的離子數，以ions/cm²（或atoms/cm²）表示。例如10¹⁵ cm⁻²與矽表面的原子數（約7×10¹⁴ cm⁻²）相當。eV是離子加速能量的單位，Ω/□是片電阻的單位，佈植後的片電阻常用來確認劑量與活化程度。
離子佈植
正確答案：B. ions/cm²（單位面積的離子數）
劑量是晶圓單位面積所佈植的離子數，以ions/cm²（或atoms/cm²）表示。例如10¹⁵ cm⁻²與矽表面的原子數（約7×10¹⁴ cm⁻²）相當。eV是離子加速能量的單位，Ω/□是片電阻的單位，佈植後的片電阻常用來確認劑量與活化程度。