이온 주입

이온 주입의 도즈량을 나타내는 단위로 올바른 것은 무엇인가?

  1. AeV
  2. Bions/cm²(단위 면적당 이온 수)
  3. CΩ/□
정답과 해설 보기

정답: B. ions/cm²(단위 면적당 이온 수)

도즈량은 웨이퍼의 단위 면적당 주입한 이온의 수로, ions/cm²(또는 atoms/cm²)로 나타냅니다. 예를 들어 10¹⁵ cm⁻²는 실리콘 표면의 원자 수(약 7×10¹⁴ cm⁻²)와 비슷한 수준입니다. eV는 이온의 가속 에너지 단위이고, Ω/□는 면저항의 단위이며, 주입 후의 면저항은 도즈량과 활성화 정도를 확인하는 데 자주 사용됩니다.

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