配線プロセス

アルミニウム配線に、銅を0.5%程度添加したAl-Cu合金が使われてきた主な理由はどれか。

  1. Aエレクトロマイグレーションに対する耐性を高めるため
  2. B抵抗率を大幅に下げるため
  3. C配線の色を変えるため
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正解:A. エレクトロマイグレーションに対する耐性を高めるため

純アルミニウムの配線は、電流による原子の移動(エレクトロマイグレーション)でボイドやヒロックができやすいという問題がありました。少量の銅を添加すると、銅が結晶粒界に偏析してアルミニウム原子の粒界での移動を抑え、寿命が大きく延びます。

  • A. 正しい。エレクトロマイグレーションへの耐性を高めます。
  • B. 少量の銅の添加で抵抗率はむしろわずかに上がります。
  • C. 色を変えるためではありません。
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