배선 공정
알루미늄 배선에 구리를 0.5% 정도 첨가한 Al-Cu 합금이 사용되어 온 주된 이유는?
- A일렉트로마이그레이션에 대한 내성을 높이기 위해
- B저항률을 크게 낮추기 위해
- C배선의 색을 바꾸기 위해
정답과 해설 보기
정답: A. 일렉트로마이그레이션에 대한 내성을 높이기 위해
순수 알루미늄 배선은 전류에 의한 원자의 이동(일렉트로마이그레이션)으로 보이드와 힐록이 생기기 쉬워서 1960년대 후반에는 IC의 주된 고장 원인이었습니다. 0.5~4% 정도의 구리를 첨가하면 구리가 결정 입계에 편석하여 알루미늄 원자의 입계 이동을 억제하고, 수명이 한 자릿수 이상 늘어납니다. 저항률은 약간 올라가지만 신뢰성 향상이 크기 때문에 Cu 배선 이전의 표준이 되었습니다.
- A. 맞습니다. 일렉트로마이그레이션에 대한 내성을 높입니다.
- B. 소량의 구리 첨가로 저항률은 오히려 약간 올라갑니다.
- C. 색을 바꾸기 위한 것이 아닙니다.