배선 공정

저항률 2 µΩ·cm의 배선에서 길이 1 mm, 폭과 두께가 각각 100 nm일 때의 저항은 대략 얼마인가?

  1. A약 2 Ω
  2. B약 2 kΩ
  3. C약 2 MΩ
정답과 해설 보기

정답: B. 약 2 kΩ

저항은 R = ρL/(W × T)이며, ρ = 2×10⁻⁸ Ω·m, L = 1×10⁻³ m, W × T = 1×10⁻¹⁴ m²에서 R = 2000 Ω(약 2 kΩ)입니다. 1 mm라는 짧은 거리에서도 단면이 100 nm 각인 배선에서는 이만큼 큰 저항이 되며, 배선 용량(1 mm에서 약 0.2 pF)과 조합하면 RC 지연은 수백 ps가 됩니다. 그래서 긴 배선에는 상층의 굵은 배선을 사용하거나 리피터를 넣습니다.

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