エッチング

ウェットエッチングで、薬液の温度を上げたときのエッチング速度の変化として一般的なものはどれか。

  1. A変わらない
  2. B速くなる
  3. C遅くなる
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正解：B. 速くなる

ウェットエッチングは化学反応で進むため、一般に温度が上がると反応が速くなり、エッチング速度も上がります。そのため、加工量を安定させるには薬液の温度を精密に管理する必要があります。熱リン酸による窒化膜のエッチングのように、高温で使う薬液もあります。

  • A. エッチング速度は温度に強く依存します。
  • B. 正しい。化学反応が速くなり、エッチング速度が上がります。
  • C. 一般に温度を上げると反応は速くなります。
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