MBEで、成長中の表面に電子線を浅い角度で当て、その回折像から成長の様子をその場で観察する手法はどれか。

正解：B. RHEED(反射高速電子回折)

RHEEDは、成長中の表面に高速の電子線をすれすれに当て、回折パターンを蛍光スクリーンで観察する手法です。表面の平坦さや結晶構造がわかり、1原子層ずつ成長するたびに強度が振動するため、成長した層の数をその場で数えることもできます。超高真空のMBEならではの観察方法です。