에피택셜 성장

에피택셜 성장 중에 기판 등의 불순물이 기상을 통해 성장층에 유입되는 현상을 무엇이라고 하는가?

  1. A오토도핑
  2. B게터링
  3. C일렉트로마이그레이션
정답과 해설 보기

정답: A. 오토도핑

오토도핑은 불순물을 고농도로 포함한 기판이나 그 뒷면·측면에서 불순물이 증발하여, 가스를 통해 성장 중인 층에 유입되는 현상입니다. 특히 성장 초기에 많이 일어나며, 에피층의 불순물 농도가 설계값에서 벗어나거나 계면의 농도 변화가 완만해집니다. 기판 뒷면을 산화막이나 폴리실리콘으로 덮거나, 감압에서 성장시키거나, 성장 전에 한 번 가스로 불순물을 몰아내는 등의 대책을 취합니다.

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