クリーンルーム・製造装置

電子ビーム描画装置や電子顕微鏡などを設置するとき、振動のほかに特に配慮が必要な環境の要因はどれか。

  1. A外の騒音
  2. B周囲の電源ケーブルやエレベーターなどから生じる磁場の変動
  3. C照明の色
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正解:B. 周囲の電源ケーブルやエレベーターなどから生じる磁場の変動

電子ビームは電荷をもつため、わずかな磁場の変動でも曲げられ、描画の位置ずれや、像のぼけ・ゆらぎの原因になります。そのため大電流のケーブルや変圧器、エレベーターなどから離して設置したり、磁気シールドや、磁場を打ち消すアクティブな装置を使ったりします。

  • A. 騒音も振動の原因になりますが、電子ビームに特有の要因ではありません。
  • B. 正しい。磁場の変動が電子ビームを曲げます。
  • C. 照明の色は電子ビームに影響しません。
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