半導体工場で、高純度のガスを供給するステンレス配管の内面に電解研磨(EP)が施される主な理由はどれか。

正解：B. 内面を平滑にして、粒子の発生や、水分・不純物の吸着と放出を抑えるため

配管の内面に凹凸があると、粒子が出たり、水分や不純物が吸着してあとから少しずつ放出されたりして、ガスの純度が下がります。電解研磨で内面を鏡のように平滑にし、表面に安定した不動態膜を作ることで、高純度のガスを汚さずに装置まで届けます。

• A. 軽量化が目的ではありません。
• B. 正しい。平滑な内面で汚染を抑えます。
• C. 種類の識別は表示やラベルで行います。