回路の微細化が進むにつれて、クリーンルームで管理すべき粒子の大きさはどう変わるか。

正解：B. 小さくなる

パターンの寸法に比べて無視できない大きさの粒子は、配線のショートや断線などの欠陥を起こします。微細化で線幅や間隔が小さくなると、より小さな粒子でも致命的な欠陥になるため、管理の対象となる粒子の大きさも小さくなり、要求される清浄度も厳しくなります。

• A. 微細化が進むほど小さな粒子が問題になります。
• B. 正しい。より小さな粒子まで管理が必要になります。
• C. 寸法が小さくなれば、影響する粒子の大きさも変わります。