클린룸과 장비
웨이퍼를 맨손으로 만져서는 안 되는 주된 이유는 무엇인가?
- A피지나 땀에 포함된 나트륨 등이 웨이퍼를 오염시켜 소자의 특성과 신뢰성을 해치기 때문에
- B체온으로 웨이퍼가 녹기 때문에
- C지문이 웨이퍼의 결정 방위를 바꾸기 때문에
정답과 해설 보기
정답: A. 피지나 땀에 포함된 나트륨 등이 웨이퍼를 오염시켜 소자의 특성과 신뢰성을 해치기 때문에
손의 피지나 땀에는 유기물과 나트륨 등의 알칼리 금속이 포함되어 있습니다. 나트륨은 산화막 속을 움직이는 가동 이온이 되어 트랜지스터의 문턱 전압을 변동시키고, 유기물은 성막이나 접합 불량의 원인이 됩니다. 그래서 웨이퍼는 전용 장갑이나 핀셋, 반송 로봇 등으로 다룹니다. 장갑을 끼고 있어도 웨이퍼 표면에는 닿지 않고 가장자리만 다룹니다.
- A. 맞습니다. 피지와 땀의 성분이 오염원이 됩니다.
- B. 체온으로 실리콘이 녹는 일은 없습니다.
- C. 지문으로 결정 방위가 바뀌는 일은 없습니다.