Wat is Vacuümverdamping?

Methode waarbij materiaal in vacuüm wordt verhit, verdampt en op het substraat neerslaat tot een film. Met een elektronenbundel kunnen ook materialen met een hoog smeltpunt worden verwerkt, maar de stapbedekking is slecht.

Japanse benaming: 真空蒸着

Vakgebied: Laagafzetting (CVD, PVD)

Verwante termen

ALD (atomic layer deposition) CVD Elektrolytisch plateren (ECP) Elektrostatische chuck (ESC) Gebiedsselectieve depositie (area-selective deposition) HDP-CVD (high-density plasma CVD) LPCVD (low-pressure CVD) Magnetronsputteren PECVD (plasma-enhanced CVD) Reactief sputteren

Naar de woordenlijst