Wat is Threading-dislocatie?

Dislocatie die door de gegroeide laag heen tot aan het oppervlak doorloopt. Bij GaN op saffier of silicium is de dichtheid hoog (ongeveer 10⁸ tot 10⁹ cm⁻²) en verslechtert ze de eigenschappen en betrouwbaarheid van componenten.

Japanse benaming: 貫通転位

Vakgebied: Epitaxiale groei

Verwante termen

4H-SiC Autodoping Epitaxiale groei Gespannen silicium (strained silicon) Heteroepitaxie HVPE (hydride-dampfase-epitaxie) Kritische laagdikte Laterale epitaxiale overgroei (ELO) MBE (molecular beam epitaxy) Misfit-dislocatie

Naar de woordenlijst