Qu'est-ce que Dislocation traversante ?

Dislocation qui traverse la couche épitaxiée jusqu'à la surface. Dans le GaN sur saphir ou sur silicium, sa densité est élevée (environ 10⁸ à 10⁹ cm⁻²) et dégrade les caractéristiques et la fiabilité des composants.

Nom japonais: 貫通転位

Domaine: Croissance épitaxiale

Termes associés

4H-SiC Autodopage Croissance épitaxiale Croissance épitaxiale latérale (ELO) Croissance par avancée de marches (step-flow) Désaccord de maille Dislocation de désaccord (misfit dislocation) Épaisseur critique Épitaxie sélective Faute d'empilement

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